ヒータ+湿式　デュアルカイザー

省スペースで安全性の高いヒータ式。デュアルタイプ新登場 。

【用途】

PE-CVD等で使用されるプロセスガスとPFCガスの処理用

【特徴】

  • 弊社比2台の装置を1つのサイズにした省スペース
  • 電装部を除くヒータや洗浄塔、貯水タンクなどのユニットは完全に独立したデュアル式
シリウスカイザーシリーズの特長 優　位　点
メンテナンス性能 専用治具により簡単に実施可能 ヒータ・洗浄塔は独立で脱着可能
メンテナンス周期 部品母材の検討を重ね、またコーティングの最適化をすることで耐腐食性を向上 腐食による部品の消耗を最大限に抑制
ヒータの特長 耐腐食性素材を使用した特殊充填物により気流を発生させ熱伝導効率向上 除害効率の向上と省エネ
耐腐食性素材の特殊合金を採用 ヒータユニット寿命の延長
CACシステム(Clean Technology Anti-Corrosion System)を採用 耐腐食性の向上
洗浄塔の特長 特殊シャワーノズルの採用と循環水の有効活用 昇温速度40分(常温～800℃)

冷却速度120分(メンテナンス可能温度)

節水・省スペース

 

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